Dummy fill effect on CMP planarity--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	172511O120100134
第一作者所在部门:	EDA中心
论文题目:	Dummy fill effect on CMP planarity
论文题目英文:
作者:	陈岚
论文出处:
刊物名称:	半导体学报
年:	2010
卷:
期:
页:
联系作者:
收录类别:
影响因子:	0.446
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
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