| 论文编号: | 172511O120100134 |
| 第一作者所在部门: | EDA中心 |
| 论文题目: | Dummy fill effect on CMP planarity |
| 作者: | 陈岚 |
| 刊物名称: | 半导体学报 |
| 年: | 2010 |
| 影响因子: | 0.446 |
| 论文编号: | 172511O120100134 |
| 第一作者所在部门: | EDA中心 |
| 论文题目: | Dummy fill effect on CMP planarity |
| 作者: | 陈岚 |
| 刊物名称: | 半导体学报 |
| 年: | 2010 |
| 影响因子: | 0.446 |
科研产出