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论文编号: 172511O120100172
第一作者所在部门: 十室
论文题目: 一种新的MEM器件牺牲层释放方法
论文题目英文:
作者: 陈大鹏
论文出处: SCI收录
刊物名称: Chinese Physics B
年: 2010
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收录类别:
影响因子: 1.293
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