| 论文编号: | 172511O120100221 |
| 第一作者所在部门: | 三室一组 |
| 论文题目: | 2000lp/mm X射线透射变栅距光栅的研究 |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | 靳飞飞 |
| 论文出处: | EI收录 |
| 刊物名称: | 光学学报 |
| 年: | 2010 |
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| 影响因子: | 1.042 |
| 摘要: | 针对X射线透射光栅摄谱仪中对高线密度聚焦变栅距光栅的需要,利用电子束光刻技术,研制了X射线透射变栅距光栅。利用变栅距光栅的自动生成宏文件程序,优化设计了变栅距光栅的版图,然后利用电子束光刻和微电镀技术在聚酰亚胺薄膜底衬上制备了X射线透射变栅距光栅。制作出中心线数为2000 lp/mm X射线透射变栅距光栅,栅距变化符合设计要求。衍射效率标定的结果表明,制备的变栅距光栅在中心波长处聚焦作用明显,可以大幅提高衍射光强度和光栅的分辨本领,具有重要的应用价值。 |
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| 外单位作者单位: | |
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