论文编号: 172511O120100225
第一作者所在部门: 十室一组
论文题目: 用PECVD制备高抗腐蚀性能SiNx薄膜的工艺研究
论文题目英文:
作者: 焦斌斌
论文出处: EI收录
刊物名称: 功能材料
: 2010
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收录类别:
影响因子: 0.394
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