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论文编号: 172511O120100332
第一作者所在部门: 中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室
论文题目: 微等离子体喷枪及其应 用
论文题目英文:
作者: 韩传余
论文出处: 其他国外刊物
刊物名称: 科学导报
年: 2010
卷: 28
期: 20
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