纳秒脉冲空气辉光放电等离子体及应用--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	172511O120100329
第一作者所在部门:	中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室
论文题目:	纳秒脉冲空气辉光放电等离子体及应用
论文题目英文:
作者:	王守国
论文出处:	EI收录
刊物名称:	强激光与粒子束
年:	2010
卷:	22
期:	10
页:
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