当前位置 首页 科研工作 科研产出 论文
论文编号: 172511O120100324
第一作者所在部门: 九室一组
论文题目: 高密度si基半导体电容器的性能及其制作
论文题目英文:
作者: 王惠娟
论文出处: EI收录
刊物名称: 微纳电子技术
年: 2010
卷:
期:
页:
联系作者:
收录类别:
影响因子: 0.230
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
备注:
中国科学院微电子研究所版权所有 邮编：100029
单位地址：北京市朝阳区北土城西路3号，电子邮件：webadmin@ime.ac.cn
京公网安备110402500036号，京ICP备05002781号-1