等离子氧预处理后的TANOS结构存储器件的性能提升--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	172511O120110209
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论文题目:	等离子氧预处理后的TANOS结构存储器件的性能提升
论文题目英文:
作者:
论文出处:
刊物名称:	Proceeding of Non-Volatile Memory Technology Symposium
年:	2011
卷:
期:
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联系作者:	刘明
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备注:	Non-Volatile Memory Technology Symposium