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论文编号: 172511O120110208
第一作者所在部门:
论文题目: 反应溅射的TaN栅电极的材料特性和有效功函数
论文题目英文:
作者:
论文出处:
刊物名称: journal of Semiconductors
年: 2011
卷: 32
期: 5
页:
联系作者: 张满红
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