The degradation mechanism rearch of the ultra-thin oxide--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	172511O120110355
第一作者所在部门:
论文题目:	The degradation mechanism rearch of the ultra-thin oxide
论文题目英文:
作者:
论文出处:
刊物名称:	第十七届全国半导体集成电路，硅材料学术会议
年:	2011
卷:
期:
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联系作者:	田建
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