埋氧注氮对SIMOX SOI材料埋氧中辐射感生正电荷密度的影响--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	172511O120110162
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论文题目:	埋氧注氮对SIMOX SOI材料埋氧中辐射感生正电荷密度的影响
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作者:
论文出处:
刊物名称:	第十一届电抗辐射电子学与电磁脉冲学术会议
年:	2011
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联系作者:	于芳
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备注:	第十一届电抗辐射电子学与电磁脉冲学术会议