Mobility enhancement technology for scaling of CMOS devices: Overview and status--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	172511O120110099
第一作者所在部门:
论文题目:	Mobility enhancement technology for scaling of CMOS devices: Overview and status
论文题目英文:
作者:
论文出处:
刊物名称:	Journal of Electron Material
年:	2011
卷:
期:
页:
联系作者:	宋毅
收录类别:
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