Technology challenges in silicon devices beyond the 16 nm node--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	172511O120110098
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论文题目:	Technology challenges in silicon devices beyond the 16 nm node
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作者:
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刊物名称:	IEEE 18th international conference “Mixed design of integrated circuits and systems”
年:	2011
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联系作者:	Mikael Ostling
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备注:	IEEE 18th international conference “Mixed design of integrated circuits and systems”