--中国科学院微电子研究所

科研产出

当前位置首页科研工作科研产出论文

论文编号:	172511O120110055
第一作者所在部门:
论文题目:
论文题目英文:
作者:
论文出处:
刊物名称:	Applied Mechanics and Materials
年:	2011
卷:	128
期:
页:	441
联系作者:	佟鑫
收录类别:
影响因子:
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
备注:	ICMTMA