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论文编号: 172511O120120265
第一作者所在部门: 八室一组
论文题目: 原子层沉积技术研究及其应用进展
论文题目英文:
作者: 刘邦武
论文出处:
刊物名称: 微纳电子
年: 2012
卷:
期: 11
页: 701
联系作者: 刘邦武
收录类别:
影响因子: 1.341
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
备注: CSCD收录
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