当前位置 首页 科研工作 科研产出 论文
论文编号: 172511O120120108
第一作者所在部门: 十室一组
论文题目: 无
论文题目英文:
作者: 罗军
论文出处:
刊物名称: J. Vac. Sci. Technol. A
年: 2012
卷:
期: 4
页: 041511-1
联系作者: 罗军
收录类别:
影响因子: 0.8163
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
备注: 其他国外刊物
中国科学院微电子研究所版权所有 邮编：100029
单位地址：北京市朝阳区北土城西路3号，电子邮件：webadmin@ime.ac.cn
京公网安备110402500036号，京ICP备05002781号-1