| 论文编号: | 172511O120120055 |
| 第一作者所在部门: | 十室一组 |
| 论文题目: | 42微米像素240*240MEMS非制冷红外焦平面阵列设计、加工及测试 |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | 欧毅 |
| 论文出处: | |
| 刊物名称: | IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems (JMEMS) |
| 年: | 2012 |
| 卷: | |
| 期: | 99 |
| 页: | 1 |
| 联系作者: | 欧毅 |
| 收录类别: | |
| 影响因子: | 0.579 |
| 摘要: | 基于两种非线性理论的新型MEMS振动能量收集芯片研究 |
| 英文摘要: | |
| 外单位作者单位: | |
| 备注: | SCI收录 |
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