黑硅太阳能电池PECVD沉积氮化硅薄膜研究--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	172511O120120045
第一作者所在部门:	八室一组
论文题目:	黑硅太阳能电池PECVD沉积氮化硅薄膜研究
论文题目英文:
作者:	刘邦武
论文出处:
刊物名称:	International Journal of Photoenergy
年:	2012
卷:
期:	2012
页:	1
联系作者:	刘邦武
收录类别:
影响因子:	0.9378
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
备注:	SCI收录