| 论文编号: | 172511O120120028 |
| 第一作者所在部门: | 八室一组 |
| 论文题目: | Al2O3钝化及其在晶硅太阳电池中的应用 |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | 夏洋 |
| 论文出处: | |
| 刊物名称: | 物理学报 |
| 年: | 2012 |
| 卷: | 61 |
| 期: | 18 |
| 页: | 187303-1 |
| 联系作者: | 夏洋 |
| 收录类别: | |
| 影响因子: | 3.226 |
| 摘要: | 介绍了Al2O3的材料性质及其原子层沉积制备方法, 详细阐述了该材料的钝化机制(化学钝化和场效应钝化), 并从薄膜厚度、热稳定性及叠层钝化等角度阐释其优化方案. 概述了Al2O3钝化在晶体硅太阳电池中的应用, 主要包括钝化发射极及背面局部扩散电池和钝化发射极及背表面电池. 最后, 对Al2O3钝化工艺的未来研究方向和大规模的工业应用进行了展望. |
| 英文摘要: | |
| 外单位作者单位: | |
| 备注: | SCI收录 |
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