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论文编号: 172511O120120078
第一作者所在部门: 十室一组
论文题目: Si衬底上MOCVD生长AlN的预铺铝机理研究
论文题目英文:
作者: 包琦龙
论文出处:
刊物名称: 2012全国半导体器件技术、产业发展研讨会
年: 2012
卷:
期: 7
页: 173
联系作者: 包琦龙
收录类别:
影响因子: 2.849
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
备注: 其他国内刊物
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