高温退火对MANOS结构电荷俘获型存储器性能的影响--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	172511O120120286
第一作者所在部门:	三室
论文题目:	高温退火对MANOS结构电荷俘获型存储器性能的影响
论文题目英文:
作者:	刘明
论文出处:
刊物名称:	Science China: Technological Sciences
年:	2012
卷:
期:	55
页:	888
联系作者:	刘明
收录类别:
影响因子:	2.849
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
备注:	SCI收录