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论文编号: 172511O120130268
第一作者所在部门:
论文题目: 原子层沉积制备ZnO薄膜研究进展
论文题目英文:
作者: 夏洋
论文出处:
刊物名称: 半导体材料
年: 2013-05-11
卷:
期: 5
页: 368
联系作者: 夏洋
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英文摘要:
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