论文编号: 172511O120130126
第一作者所在部门:
论文题目: 由直接的Si/铜研磨和抛光的背面TSV显示过程的研究
论文题目英文:
作者: 薛恺
论文出处: EPTC
刊物名称: EPTC
: 2013-05-18
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: 2013
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联系作者: 薛恺
收录类别:
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摘要: 由直接的Si/铜研磨和抛光的背面TSV显示过程的研究
英文摘要:
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