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论文编号: 172511O120130118
第一作者所在部门:
论文题目: 粗糙侧壁对硅通孔互连结构高频性能的影响
论文题目英文:
作者: 王志
论文出处:
刊物名称: 科学技术与工程
年: 2013-06-12
卷:
期: 18
页: 5339
联系作者: 王志
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