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论文编号: 172511O120130090
第一作者所在部门:
论文题目: 32 nm节点极紫外光刻掩模的集成研制
论文题目英文:
作者: 谢常青
论文出处:
刊物名称: 光学学报
年: 2013-06-07
卷: 33
期: 10
页: 1034002
联系作者: 谢常青
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英文摘要:
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