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论文编号: 172511O120130033
第一作者所在部门:
论文题目: 磁控溅射法制备低电阻率Ta薄膜研究
论文题目英文:
作者: 王文东
论文出处:
刊物名称: 功能材料
年: 2013-09-30
卷:
期: 18
页: 2625
联系作者: 王文东
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英文摘要:
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