| 论文编号: | 172511O120130031 |
| 第一作者所在部门: | |
| 论文题目: | 原子层沉积法 生长ZnO的性质与前驱体源量的关系研究 |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | 夏洋 |
| 论文出处: | |
| 刊物名称: | 物理学报 |
| 年: | 2013-04-08 |
| 卷: | 62 |
| 期: | 14 |
| 页: | 1 |
| 联系作者: | 夏洋 |
| 收录类别: | |
| 影响因子: | |
| 摘要: | 介绍了新型材料ZnO的各项性能,并采用原子层沉积方法制备新型材料ZnO. 实验中采用二乙基锌(DEZn) 和水作为生长ZnO的前驱体源, 在蓝宝石衬底上生长ZnO; 采用氮气作为载气, 生长温度为180℃. 通过改变在实验中的通入锌源的时间, 探索不同的DEZn的源的量对薄膜的成分(Zn/O)、薄膜的厚度、生长速率、晶型、 表面形貌、三维形貌以及粗糙度的影响. |
| 英文摘要: | |
| 外单位作者单位: | |
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