| 论文编号: | 1725110120140280 |
| 第一作者所在部门: | 十室一组 |
| 论文题目: | 先导光刻中的光学邻近效应修正 |
| 作者: | 韦亚一 |
| 刊物名称: | 中文核心 |
| 年: | 2014 |
| 卷: | 51 |
| 期: | 3 |
| 页: | 186 |
| 联系作者: | 韦亚一 |
| 影响因子: | 0 |
| 论文编号: | 1725110120140280 |
| 第一作者所在部门: | 十室一组 |
| 论文题目: | 先导光刻中的光学邻近效应修正 |
| 作者: | 韦亚一 |
| 刊物名称: | 中文核心 |
| 年: | 2014 |
| 卷: | 51 |
| 期: | 3 |
| 页: | 186 |
| 联系作者: | 韦亚一 |
| 影响因子: | 0 |
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