论文编号: 1725110120140280
第一作者所在部门: 十室一组
论文题目: 先导光刻中的光学邻近效应修正
作者: 韦亚一
刊物名称: 中文核心
: 2014
: 51
: 3
: 186
联系作者: 韦亚一
影响因子: 0