论文编号: 1725110120140275
第一作者所在部门: 三室一组
论文题目: Hybrid lithography for x-ray diffractive optical elements
论文题目英文:
作者: 谢常青
论文出处:
刊物名称: SPIE Newsroom
: 2014
:
: 005456
: 1
联系作者: 谢常青
收录类别:
影响因子: 0
摘要:
英文摘要:
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