Mechanism study of sidewall damage--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	1725110120140267
第一作者所在部门:	十室一组
论文题目:	Mechanism study of sidewall damage
论文题目英文:
作者:	孟令款
论文出处:
刊物名称:	APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE
年:	2014
卷:	117
期:	4
页:	1771
联系作者:	孟令款
收录类别:
影响因子:	1.694
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
备注: