Study of Si Green Transistor with an Ultra-shallow Pocket Junction--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	1725110120140256
第一作者所在部门:	十室一组
论文题目:	Study of Si Green Transistor with an Ultra-shallow Pocket Junction
论文题目英文:
作者:	许高博
论文出处:
刊物名称:	ECS Transactions
年:	2014
卷:	60
期:	1
页:	85
联系作者:	许高博
收录类别:
影响因子:	0.5
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
备注: