| 论文编号: | 1725110120140252 |
| 第一作者所在部门: | 十室一组 |
| 论文题目: | An effective work-function tuning method of nMOSCAP with high-k/metal gate by TiN/TaN double-layer stack thickness |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | 马雪丽 |
| 论文出处: | |
| 刊物名称: | Journal of Semiconductors |
| 年: | 2014 |
| 卷: | 35 |
| 期: | 9 |
| 页: | 1 |
| 联系作者: | 马雪丽 |
| 收录类别: | |
| 影响因子: | 0.37 |
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| 英文摘要: | |
| 外单位作者单位: | |
| 备注: | |
科研产出