Design and Simulation of High Efficient MEMS Electrothermal Actuator--中国科学院微电子研究所

科研产出

当前位置首页科研工作科研产出论文

论文编号:	1725110120140228
第一作者所在部门:	十室一组
论文题目:	Design and Simulation of High Efficient MEMS Electrothermal Actuator
论文题目英文:
作者:
论文出处:
刊物名称:	Key Engineering Materials
年:	2013
卷:	562
期:	565
页:	504
联系作者:
收录类别:
影响因子:	0.5
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
备注: