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论文编号: 1725110120140225
第一作者所在部门: 十室一组
论文题目: 超薄Ni0.86Pt0.14金属硅化物薄膜特性
论文题目英文:
作者: 张青竹
论文出处:
刊物名称: 半导体技术
年: 2014
卷: 39
期: 5
页: 370
联系作者: 张青竹
收录类别:
影响因子: 0.256
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
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