论文编号: 1725110120140214
第一作者所在部门: 十室一组
论文题目: SiGe Selective Epitaxial Growth Process for 22 nm Node CMOS and Beyond
作者: 王桂磊
刊物名称: The Electrochemical Society
: 2014
: 103
: 1
: 1692
联系作者: 王桂磊
影响因子: 0.5