High Frequency Characterization and Analysis of Through Silicon Vias and Coplanar--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	1725110120140189
第一作者所在部门:	九室
论文题目:	High Frequency Characterization and Analysis of Through Silicon Vias and Coplanar
论文题目英文:
作者:	王惠娟
论文出处:
刊物名称:	Microsystem Technologies
年:	2014
卷:
期:	12
页:	1
联系作者:	王惠娟
收录类别:
影响因子:	0.952
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
备注: