当前位置 首页 科研工作 科研产出 论文
论文编号: 1725110120140108
第一作者所在部门: 八室一组
论文题目: 原子层沉积生长速率的控制研究进展
论文题目英文:
作者: 卢维尔
论文出处:
刊物名称: 无机材料学报
年: 2014
卷: 29
期: 4
页: 345
联系作者: 卢维尔
收录类别:
影响因子: 0.6876
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
备注:
中国科学院微电子研究所版权所有 邮编：100029
单位地址：北京市朝阳区北土城西路3号，电子邮件：webadmin@ime.ac.cn
京公网安备110402500036号，京ICP备05002781号-1