论文编号: | 1725110120140077 |
第一作者所在部门: | 四室一组 |
论文题目: | Al2O3/GeOx gate stack on germanium substrate fabricated by in situ cycling ozone oxidation method |
论文题目英文: | |
作者: | 杨旭 |
论文出处: | |
刊物名称: | Applied physics letters |
年: | 2014 |
卷: | |
期: | 105 |
页: | 092101-1 |
联系作者: | 杨旭 |
收录类别: | |
影响因子: | 3.515 |
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外单位作者单位: | |
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科研产出