论文编号: 1725110120140077
第一作者所在部门: 四室一组
论文题目: Al2O3/GeOx gate stack on germanium substrate fabricated by in situ cycling ozone oxidation method
论文题目英文:
作者: 杨旭
论文出处:
刊物名称: Applied physics letters
: 2014
:
: 105
: 092101-1
联系作者: 杨旭
收录类别:
影响因子: 3.515
摘要:
英文摘要:
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