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论文编号: 1725110120150310
第一作者所在部门: 研究生5,微电子重点实验室
论文题目: 高效率X射线光刻在单级光栅研制中的应用
论文题目英文:
作者: 施百龄
论文出处:
刊物名称: 微纳电子技术
年: 2015
卷: 52
期: 4
页: 246-250
联系作者: 朱效立
收录类别:
影响因子: 0.3776
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