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论文编号: 1725110120150267
第一作者所在部门: 先导中心
论文题目: Niu Pt1 － u Siv Ge1 － v /Si0. 72 Ge0. 28界面形貌的改善
论文题目英文:
作者: 杨鹏鹏
论文出处:
刊物名称: 半导体制造技术
年: 2015
卷: 40
期: 1
页: 49-52
联系作者: 徐烨锋
收录类别:
影响因子: 0
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英文摘要:
外单位作者单位:
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