Effects of a carbon implant on thermal stability of Ni0:95(Pt0:05)Si--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	1725110120150266
第一作者所在部门:	先导中心
论文题目:	Effects of a carbon implant on thermal stability of Ni0:95(Pt0:05)Si
论文题目英文:
作者:	冯帅
论文出处:
刊物名称:	Journal of Semiconductors
年:	2015
卷:	36
期:	6
页:	4-4
联系作者:	闫江
收录类别:
影响因子:	1.584
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
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