论文编号: 1725110120150226
第一作者所在部门: 先导中心
论文题目: Effect of hydrogen carrier gas on AlN and AlGaN growth in AMEC Prismo D-Blues MOCVD platform
论文题目英文:
作者: 包琦龙
论文出处:
刊物名称: Journal of crystal growth
: 2015
: 419
: 2015
: 52-56
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收录类别:
影响因子: 1.698
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