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论文编号: 1725110120150220
第一作者所在部门: 高频高压中心
论文题目: 碳膜保护对高温激活SiC 表面形貌的影响
论文题目英文:
作者:
论文出处:
刊物名称: 电子器件
年: 2014
卷:
期: 6
页: 1030-1033
联系作者: 李诚瞻
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