| 论文编号: | 1725110120150212 |
| 第一作者所在部门: | 先导中心 |
| 论文题目: | Investigation of TiAlC by Atomic Layer Deposition as N Type |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | 项金娟 |
| 论文出处: | |
| 刊物名称: | ECS Journal of Solid State Science and Technology |
| 年: | 2015 |
| 卷: | 4 |
| 期: | 12 |
| 页: | 441-444 |
| 联系作者: | 赵超 |
| 收录类别: | |
| 影响因子: | 1.558 |
| 摘要: | |
| 英文摘要: | |
| 外单位作者单位: | |
| 备注: | |
科研产出