论文编号: | 1725110120150211 |
第一作者所在部门: | 高频高压中心 |
论文题目: | Comparative Study of AlGaN/GaN HEMTs with LPCVD- and PECVD-SiNx Passivation |
论文题目英文: | |
作者: | |
论文出处: | |
刊物名称: | International Conference on CompoundSemiconductor Manufacturing technology |
年: | 1949 |
卷: | |
期: | 30 |
页: | 173-176 |
联系作者: | 王鑫华 |
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科研产出