| 论文编号: | 1725110120160326 |
| 第一作者所在部门: | |
| 论文题目: | Depth-of-Focus Determination for Talbot Lithography of Large-Scale Free-Standing Periodic Features |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | |
| 论文出处: | |
| 刊物名称: | IEEE Photonics Technology Letters |
| 年: | 2016 |
| 卷: | 28 |
| 期: | 22 |
| 页: | 2491 |
| 联系作者: | 谢常青 |
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