Effect of Near-Field Diffraction in Photolithography of Hexagonal Arrays for Dichroic Filters--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	1725110120160324
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论文题目:	Effect of Near-Field Diffraction in Photolithography of Hexagonal Arrays for Dichroic Filters
论文题目英文:
作者:
论文出处:
刊物名称:	IEEE Photonics Journal
年:	2016
卷:	8
期:	4
页:	1
联系作者:	谢常青
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