Silicon photonics process development based on a 200-mm CMOS platform--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	1725110120160261
第一作者所在部门:
论文题目:	Silicon photonics process development based on a 200-mm CMOS platform
论文题目英文:
作者:	李志华
论文出处:
刊物名称:	Proc. of SPIE
年:	2016
卷:
期:	10027
页:	1002706-1
联系作者:	李志华
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