Atomic layer deposition assisted pattern transfer technology for ultra-thin block copolymer films--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	1725110120160243
第一作者所在部门:
论文题目:	Atomic layer deposition assisted pattern transfer technology for ultra-thin block copolymer films
论文题目英文:
作者:	陈文辉
论文出处:
刊物名称:	Thin Solid Films
年:	2016
卷:
期:	613
页:	32
联系作者:	赵超
收录类别:
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