Bulk FinFETs with body spacers for improving fin height variation--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	1725110120160234
第一作者所在部门:
论文题目:	Bulk FinFETs with body spacers for improving fin height variation
论文题目英文:
作者:	魏星
论文出处:
刊物名称:	Solid-State Electronics
年:	2016
卷:
期:	122
页:	45
联系作者:	朱慧珑
收录类别:
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